現(xiàn)在有很多傳感器都是向著微型化發(fā)展，微型傳感器更方便我們的安裝，不過我們在研制微型傳感器的時候怎樣確保他/她的精度是一個很大的難題，用測力傳感器為例，許多地方都需要微型測力傳感器，不過同時也需要高精度的測力傳感器，生產(chǎn)出高精度微型測力傳感器顯得很重要。
微型測力傳感器采用壓電單晶片結構，而且內(nèi)置前置放大器，通過放大器放大微弱信號并且實現(xiàn)阻抗變換，從而使傳感器具有量程小、靈敏度高、抗干擾性好等特點。這類型傳感器已經(jīng)廣泛用于脈搏、管壁壓力波動等微小信號的檢測。不過與此同時，對于微壓傳感器精準度的檢驗這一技術難題，就迫切需要簡便的測量裝置測量該類型傳感器的性能。
對于微型測力傳感器來說，靈敏度與線性度是微型測力傳感器最重要的兩個性能指標。為了制作出能夠滿足實際應用需求的傳感器，一定要探索出一種微型測力傳感器靈敏度和線性度的有效仿真方法。實際的研究中，發(fā)現(xiàn)一種基于對壓阻式測力傳感器薄膜表面應力的有限元分析(FEA)與路徑積分的仿真方法。通過這一方法實現(xiàn)了在滿量程范圍內(nèi)不同壓力值下對傳感器電壓輸出值的精確估計，因此基礎上對測力傳感器的靈敏度與線性度進行了有效仿真。
為了確保微型測力傳感器精度，我們就需要從各個角度進行優(yōu)化，除了上面介紹的以為。在結構上，綜合梁膜結構與平膜雙島結構的優(yōu)點，也采用雙島-梁結構等等。
